中国上海，2025年1月9日——中微半导体装备（上海）股份无限公司（以下简称“中微公司”，上交所股票代码：688012）跟南昌中微半导体装备无限公司独特领有的发现专利“一种化学气相堆积安装及其干净方式”（专利号：ZL201510218357.1）荣获第二十五届中国专利奖银奖。中国专利奖是我国专利范畴的最高声誉，由国度常识产权局跟天下常识产权构造结合主理，旨在激励跟表扬专利权人跟发现人对技巧翻新及经济社会开展所作出的凸起奉献。至此，中微公司已荣获中国专利奖2项金奖、1项银奖跟3项优良奖，这标记着中微公司在技巧翻新跟常识产权维护方面所获得的出色成绩。本次获奖的发现专利是中微公司MOCVD装备产物的基本中心专利。MOCVD装备是宽禁带半导体种种微不雅器件制作的最要害装备，采取单晶外延成长技巧出产LED芯片、功率器件以及别的第三代半导体器件，存在辽阔的利用远景。中微公司的MOCVD装备在业界享有盛誉，其氮化镓基LED出产用MOCVD装备的市场占领率在从前多少年内跃居寰球第一，市场占领率超越70%。本次获奖专利从反映腔内流体能源学跟气流散布的角度供给了一种构想新鲜、奇妙的计划，使反映气体排气与反映副产品堆积物的网络、存储彼此分别，防止了固体堆积物对排气口的梗塞，奇妙处理了MOCVD装备范畴始终困扰的排气不平均、工艺良率低、保护频仍跟出产效力高等业界困难。这一冲破性的技巧，为客户供给了更牢靠、更高效的出产处理计划，无力推进了MOCVD装备的技巧提高，增进了LED照明与表现工业的新开展。这一翻新结果进一步坚固了中微公司在MOCVD装备市场的当先位置，也为国度节能减排、下降能耗作出了宏大奉献。“中微公司持续斩获中国专利奖，彰显了中微公司在研发翻新跟常识产权治理方面的当先位置。”中微公司董事长兼总司理尹志尧博士表现，“翻新是中微公司开展的中心驱能源。中微公司将一直承袭技巧翻新、产物差别化跟常识产权维护的产物开辟准则，强化研发投入，一直冲破技巧瓶颈，为客户供给更具翻新性跟出色品德的产物跟效劳，为寰球半导体工业的开展奉献更年夜的力气。”对于中微半导体装备（上海）股份无限公司中微半导体装备（上海）股份无限公司（证券简称：中微公司，证券代码：688012）努力于为寰球集成电路跟LED芯片制作商供给当先的加工装备跟工艺技巧处理计划。中微公司开辟的CCP高能等离子体跟ICP低能等离子体刻蚀两年夜类，包含十多少种细分刻蚀装备已能够笼罩年夜少数刻蚀的利用。中微公司的等离子体刻蚀装备已被普遍利用于海内跟国际一线客户，涵盖从65纳米到5纳米及更进步工艺的浩繁刻蚀利用。中微公司近来十年侧重开辟多种导体跟半导体化学薄膜装备，如MOCVD，LPCVD，ALD跟EPI装备，并获得了可喜的提高。中微公司开辟的用于LED跟功率器件外延片出产的MOCVD装备早已在客户出产线上投入量产，并在寰球氮化镓基LED MOCVD装备市场盘踞当先位置。别的，中微公司也在规划光学跟电子束量检测装备，并开辟多种泛半导体微不雅加工装备。这些装备都是制作种种微不雅器件的要害装备，可加工跟检测微米级跟纳米级的种种器件。这些微不雅器件是古代数码工业的基本，它们正在转变人类的出产方法跟生涯方法。在美国TechInsights（原VLSI Research）近五年的寰球半导体装备客户满足度考察中，中微公司三次取得总评分第三，薄膜装备三次被评为第一。